真空蒸发镀膜设备技术要求

1.工作环境条件

工作环境条件应符合GB厅11164-1999 中4.1 的规定。

1.2结构要求

1.3设备的结构应布局合理，造型美观，操作方便，便于维修。

1.4设备中静、动密封的结构形式及尺寸应符合GB厅6070 和m厅1090~ 1092 的规定。

1.5在低真空和高真空管道及镀膜室上应装设真空规管，分别测量各部位的压力。

1.6镀膜室应有观察窗，对在镀膜过程中发生射线的设备，观察窗上应加装防射线镜片

1.7带工件烘烤装置的设备，应有测温电极或测温装置。

1.8工件架旋转机构的转速应符合产品设i十要求。

1.9装有离子轰击装置或宽束低能离子源装置的设备，在产品设计要求规定的参数范围内应能正常连续稳定工作30min 以上。

1.10采用鸽丝作为蒸发热源的加热器应能使蒸镀材料正常蒸发，且在蒸发过程中.加热器的几何形状应不影响正常蒸发。

1.11设备的蒸发源工作状况应稳定，易于调节控制。对各类蒸发源(如电阻蒸发源、电子束蒸发源、离子束蒸发源、激光蒸发源、感应式蒸发源等)的技术要求应按相应的产品标准作具体规定。

1.12设备采用低电压、大电流电阻蒸发源时，每个蒸发源加热器应在电压4V~20V 、电流50A~ 180A状态正常工作"

2.制造要求

2.1设备镀膜室内表面及各密封表面的粗糙度R， 值应不大于l 且抖m ，且对工作时处于真空状态的各表面应进行有效的真空清洁处理并予以干燥。各转动件、升降机构等动作应灵活，不得有卡、滞、松、抖及异常声响等现象，需用润滑脂的动密封处应充人适量真空油脂。

2.2设备配套的电气装置的质量应符合制造厂技术文件的规定，并应保证设备运行和l操作时安全口j靠。装置中线路的排布应整齐、清晰，便于维修，设备中电器回路的绝缘电阻应符合表2 的规定

 

2.3结合

面的边沿应整齐匀称，不得有明显错位。金属零件的镀层应牢固，元脱落及生锈等现象，所有紧固件应

有防锈层。设备的涂漆表面应光洁、美观、牢固，元脱落、起皮等现象。

2.4设备中外购的配套产品.应符合相应的产品标准，并应有质量合格证。设备中自制的配套产品.经制造厂检验部门检验合格后方可使用。

2.5设备中各类蒸发源、辅助离子源及离子轰击、工件旋转、工件烘烤、工件偏压、膜厚监控等装置，应逐项调试和联合调试，其性能均应达到设计要求，运行可靠。工件加热到额定温度，真空室外表面温度不得高于45"C ，设备运动部分应能正常工作。