正航技术编辑真空蒸发镀膜设备

作者：正航仪器发布时间：2023-12-08 08:12 浏览量：

1 范围

本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式和基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。

本标准适用于极限压力在以lO-4pa~ 以1O.3 Pa范围的真空蒸发镀膜设备(以下简称设备) 0

2 规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注目期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

GBrr 191 包装储运图示标志CGBrr 191-2000, eqvIS0780: 1997)

GBrr 6070 真空法兰C GBrr 6070-1995 , eqv ISO 1609: 1986 , Vacuum techno1ogy-Flange

dimensions )

GB厅11164一1999 真空镀膜设备通用技术条件

GBrr 13306 标牌

18厅1090 J 型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

18厅1091 10 型和骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

JBrr 1092 0 型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

18厅7673 真空设备型号编制方法

3 型式与基本参数

3.1 结构形式

设备主要由镀膜室、蒸发系统、真空系统、机架、保护装置及电气控制装置组成c

3.2 基本参数

设备的基本参数应符合表I 的规定。

3.3 型号

设备的型号应符合JB厅7673 的规定。